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对于中厚板的性能来说，往往都是会有很多方面的要求的，那么它都是有什么样的性能要求呢？首先一个方面就是它在自己使用时，对于它的产品来说，有自己很高的方便性上面的要求，现在很多用户，自己能在一些重要的方面使用到它，就是因为它有方便性，但是对于不同的厂家产品来说也是会让在方便性上面有区别的，就是因为它在产品上面的材料上面有很大的重量不同。对于重量大的中厚板来说自然就不能让它的使用能达到很高的方便性，所以用户在自己使用时，也是要注意到这一点的，还有一个方面，就是对于它的产品在自己使用时来说，自然美观也是很重要的，因为它它多是使用到建筑或者装饰上面，如果是它在生产时，没有很高的美观性，自然也是会让它在使用时不能让用户满意的，但是对于它的美观来说，自然也是会因为厂家的工艺有很大的区别的。
后一个方面，就是用户在自己使用它时，要让它在本身这耐磨上面有自己大的性能上面的要求，因为对于中厚板的使用来说它都是使用到户外，扎自然这个时候，对于它的本身的产品性能来说能让它达到很高的耐磨性就是很重要的，这样不但能让它的长期美观有很好的表现，同时也是会让在产品的寿命上面有很好的提高的，很多用户，自己在使用它时，都是对于它在寿命上面有要求.
中厚板的热处理工艺对组织结构影响，随着超大规模集成电路的特征线宽不断减小,导致号传输延时、功耗增大以及互连阻容耦合增大等问题,为了解决这一问题,多孔低(超低)k介电材料越来越引起人们的注意。通过在前驱气体D5源中添加甲烷,由ECRCVD沉积技术制备出了SiCOH薄膜,由于在SiCOH低k薄膜的致孔工艺及后道工艺中,薄膜需要经受400～450℃的热冲击,因此首先对不同甲烷流量下真空退火前后薄膜的结构、表面形貌和湿水性进行了研究。在真空热处理过程中,热稳定性较差的碳氢基团发生了热解吸,使Si-O-Si网络结构以及链式结构发生交联而形成鼠笼结构,从而提高了薄膜中孔隙的含量,并使薄膜表面更平整。但是,由于碳氢基团的热解吸以及结构的重组降低了薄膜的厚度,并且热解吸还导致薄膜的疏水性能降低。其次真空热处理降低了薄膜的漏电流,并且使SiCOH/Si界面的界面态发生改变。
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